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簡要描述:日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型SCRD4清洗?干燥裝置是使用不會產(chǎn)生毛細管力?表面張力的超臨界流體,可使超微細構(gòu)件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞。用途1.連采用IPA(異丙醇)干燥都會受損的、具有超微細結(jié)構(gòu)的晶圓。2.具有縱橫比較大的MEMS等微細結(jié)構(gòu)的晶圓。3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細空間的材料制備。4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會產(chǎn)生毛細管力?表面張力的超臨界流體,可使超微細構(gòu)件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA(異丙醇)干燥都會受損的、具有超微細結(jié)構(gòu)的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細結(jié)構(gòu)的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
規(guī)格
使用流體 | CO2 |
使用壓力 | 14MPa |
使用溫度 | 40℃ |
腔室 | 內(nèi)徑φ110×26mm |
安全功能 | 電氣安全裝置、機械安全裝置、防過熱保護 |
控制面板 | 采用觸摸屏進行運轉(zhuǎn)程序設(shè)定 |
外形尺寸 | (W)600×(D)450×(H)400mm(含手柄) |
重量 | 約60kg |
電源 | AC100V 50/60Hz 10A |
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會產(chǎn)生毛細管力?表面張力的超臨界流體,可使超微細構(gòu)件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA(異丙醇)干燥都會受損的、具有超微細結(jié)構(gòu)的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細結(jié)構(gòu)的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
規(guī)格
使用流體 | CO2 |
使用壓力 | 14MPa |
使用溫度 | 40℃ |
腔室 | 內(nèi)徑φ110×26mm |
安全功能 | 電氣安全裝置、機械安全裝置、防過熱保護 |
控制面板 | 采用觸摸屏進行運轉(zhuǎn)程序設(shè)定 |
外形尺寸 | (W)600×(D)450×(H)400mm(含手柄) |
重量 | 約60kg |
電源 | AC100V 50/60Hz 10A |