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更新時(shí)間：2023-09-06 
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SF6氣體露點(diǎn)控制
氣體變壓器/氣體斷路器
氣體絕緣開關(guān)設(shè)備
半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝
SF6氣體回收及再利用
變壓器/氣體斷路器的 SF6 純度和露點(diǎn)測量
SF6（六氟化硫）氣體是《京都議定書》中規(guī)定削減目標(biāo)的溫室氣體，據(jù)說單位體積的溫室效應(yīng)約為二氧化碳的23,400倍。SF6 氣體在斷路器、變壓器、半導(dǎo)體工藝等中用作絕緣氣體，水分含量和 SF6 純度的測量對(duì)于保持絕緣程度至關(guān)重要。
另一方面，迄今為止，日本的普遍做法是在測量過程中將其釋放到大氣中，或者在不釋放的情況下付費(fèi)收集和分解。通過使用MBW973-SF6，測量的SF6氣體可以返回到原始設(shè)備而不釋放到大氣中，從而可以消除大氣排放。
到目前為止，電容式由于其易于獲得而被廣泛使用。另一方面，MBW973-SF6采用高精度鏡面法進(jìn)行露點(diǎn)和純度測量，可實(shí)現(xiàn)±0.5°C和0.5%的高精度測量，響應(yīng)速度快，隨時(shí)間的推移劣化很小。通過使用該設(shè)備，可以大大減少操作員的工作時(shí)間并輕松執(zhí)行可靠的測量。
SF6氣體通過與水分反應(yīng)來凈化HF氣體和SO2氣體。MBW973-SF6可以測量0-100ppm或0-500ppm范圍內(nèi)的SO 2 。該傳感器采用電化學(xué)電池，測量精度為滿量程的±2%。
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